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1.空氣冷卻：羅茨真空泵由于輸送和壓縮氣體而產生熱量，這些熱量必須從轉子傳至殼體而散發。但在低壓下，氣體對熱的傳導和對流性能極差，致使轉子吸收的熱量不易散出，造成轉子溫度永遠高于殼體的溫度。

2.轉子的內部冷卻：為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉子用循環油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經轉子內壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉子外，還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好，泵在運轉時轉子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。

3.轉子的油膜冷卻：這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個輸油管，用均勻滴下的冷卻油帶走轉子的熱量。油經過濾器器、冷卻器，通過密封良好的油泵，再經過辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉子上之后，隨著轉子的旋轉而均面在轉了子的表面上。這不僅將轉子的熱量帶走，同時在兩個轉子表面上形成油膜，防止氣體的逆流，而且還能將轉子表面上依附的微細塵埃帶走。

.水冷卻：所謂濕式羅茨真空泵，即是由間級或雙級泵吸入的空氣經壓縮后，通過綜合吸收及有相位差的組合消音器傳送。將微量的水注入泵內，便能消除因壓縮空氣而產生的熱量。吸入水管裝在單級或雙級泵組的吸氣端并連接到真空泵的進氣口上。水是靠真空泵產生的真空度而吸入，真空度越大，吸入水量就越高。用一只簡單的調節閥門便能保證*的吸入量，吸入水的溫度應保持在20度左右，要清潔，無鈣質。