如果想獲得高真空的話必須選用氣冷羅茨液環泵真空機組，而真空機組需要的羅茨真空泵不能直排大氣，如直排大氣會形成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會形成羅茨真空泵過熱致使羅茨真空泵轉子之間的微小間隙很快因熱收縮而卡死。為保證羅茨真空泵能到達較高真空必需保證羅茨真空泵轉子之間的間隙。所以羅茨真空泵運用時必需設有前級泵，用前級泵將系統內壓力抽至一定范圍內時再啟動羅茨真空泵，如此能夠防止羅茨真空泵過載。前級泵能夠選用水(液)環式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復式真空泵等可直排大氣的真空泵。
氣冷羅茨液環泵真空機組在普通狀況下，選用水環泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它可以抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當氣鎮油封機械真空泵掃除可凝性蒸汽才能不夠，或運用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統不允許油污染的時分更為明顯。
充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備(或鋼瓶)和連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。
系統中設置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮機的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。
系統回路中設置了干燥過濾器，以保證進入貯存容器的SF6的純度并有效去除水份。過濾器帶有加熱再生裝置，可在抽真空下加熱再生，分子篩從而能反復使用。
系統中設有可靠的安全保護裝置，高壓壓力控制器安裝在SF6壓縮機排氣口，一旦排氣壓力超過限定值它會自動停止壓縮機的工作，待壓力下降后再重新啟動壓縮機；安全閥安裝在貯存容器上一旦超壓安全閥自動打開排放氣體，壓力下降后自動關閉。
另外，系統中還設置了監視儀表和控制儀表共七只，其中真空計一只，安裝在裝置回收進氣口，并在真空計前裝置了DN8閥門，需要觀察時打開即可；壓力表五只，分別安裝在回收進氣口、SF6壓縮機排氣口、冷凍壓縮機吸排氣口和貯存容器上；冷凍系統上設置了一只溫度計，利用溫包感應SF6液體溫度。
